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SVCS ( チェコ )
小間番号 : 5N-20   出展ブース : チェコ共和国パビリオン

自社PR文

S V C S は、C V D装置、熱反応炉およびプラズマシステム等の科学機器の近代化およびアップグレードのための製造、サービスを提供しています。この改修パッケージの主要な部分は、社内で開発されたU N I Xベースの制御システムであり、弊社の新しい機器および他社製中古機器にも対応しています。この制御システムは超高純度ガス、液体およびプレカーサー蒸気供給システム等でも利用することが可能です。

製品・サービス 1

独自の制御システムSVconCS

SVconCS制御システムは横型、縦型熱反応炉及びその他の半導体製造用装置に合わせて、弊社の新しい機器および他社製中古機器にも対応しています。システムの構成は高性能のコアCPU、タッチスクリーン技術を利用したLCDタイップ10.4“TFT高分解能カラーモニター及びシステムに必要な各入出力モヂュールからとなっています。



製品・サービス 2

超高純度ガス供給システム

SVCSは長年の実績を活かして、幅広い種類のウェハー製造技術を対象にした特別仕様のガス
パネルやガス供給システムのほか、さまざまな研究開発用カスタムパネルを製造しています。SV
DELIガス供給システムファミリーは、高水準の技術デザイン、世界の主要メーカーの部品、独立
した安全機能を備えた完全自動制御システムを提供します。



製品・サービス 3

ABT排ガス除害装置

SVSOL-ABT排ガス除害装置は、様々な半導体製造プロセスから排出された環境への排気が禁じられている有害な副産物を物理的及び化学的に環境へ排気可能な物質に変換する装置です。水シャワー、焼き尽くし及びこれらの組み合わせタイプがあります。



製品・サービス 4

高品質及び特集配管部品

超高真空及びクリーンプロセス対応を含むアルミニウムチャンバー用のフランジ、継手、配管が用意されています。反応炉用のパイレックスガラス、石英配管、コンポーネント、高圧、高温用金属シールフランジ及びこれら用のチェーンクランプ、アクセサリーも取り扱っています。

新製品 サンプル


製品・サービス 5

真空内外電気・光ファイバー接続部品

マルチピン及び同軸規格電流導入端子、光ファイバー導入端子及びこれら用の高真空、超高真空、クリーンルーム対応のコネクター、ケーブルが用意されています。ピン、材料、工具等のアクセサリーも提供しています。

新製品 サンプル


関連製品・技術カテゴリー *出展製品の他、興味ある製品・技術や共同研究対象となります。

材料・素材
熱的機能材料(耐熱・蓄熱・熱電導・断熱材など)、電気的機能材料(電導・誘電・半導体材料など)、その他(和文、英文):single crystalline materials
計測・加工
SPM・AFM、電子顕微鏡(SEM,TEM)、ピエゾステージ、薄膜製造技術、超精密表面加工技術、エッチング、次世代リソグラフィー、その他(和文、英文):equipment components
IT&エレクトロニクス
光デバイス、次世代LSI、次世代半導体、その他:semiconductor equipment components
ナノバイオ
バイオリアクター、その他(和文、英文)
環境・エネルギー
太陽電池

連絡先情報

下記情報は来場者から出展者への事前アポイント・問合せを目的に公開しています。
それ以外の目的(セールス等)で無断に使用・転載する事を固く禁じます。

 

SVCS

Optatova 3, Brno 637 00

TEL : +420 775 757 230     

URL: http://www.svcs.cz

 

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